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LED和MEMS

微導高度優化的批量型ALD技術助力實現一個智能世界


節能照明和顯示器、個人通訊設備、醫療保健和個人健康, 智能城市和物聯網等等, 我們逐漸生活在一個由復雜智能系統連接起來的智能世界。多樣化智能產品的應用與發展促使化合物半導體和MEMS產業正在經歷快速增長,產業化生產需要大量更好的性能、更高的可靠性, 但又具有成本效益的產品。微導向各類集成電路芯片制造商和代工廠提供高效率單一晶圓和批量型ALD薄膜沉積解決方案,使產業化生產的化合物半導體和MEMS產品具有更好性能、更經濟、可靠。





麒麟系列批量ALD薄膜系統

微導麒麟系列批量ALD薄膜沉積系統專用于100, 150和200mm晶圓生產的批量ALD鍍膜設備。 可作為獨立機臺使用,也可與主流商業自動化晶圓裝載系統和團簇平臺集群。自有專利設計的反應器可以沉積多種材料并確保極限保形和均勻的ALD薄膜沉積。麒麟系統高度通用,具有靈活性、高產能等特性和極底的使用成本。

可制備工藝:
氧化物:SiO2 , Al2O3 , HfO2 , ZrO2 , Ta2O5 , Nb2O5 , TiO2 , ZnO , SrTiO3
氮化物:TiN , Ta2N5 , AlN
單金屬:Ru , Pt
溫度范圍:室溫-500oC 
晶圓尺寸:100, 150和200mm



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